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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板定位装置、基板定位方法、程序-CN200610066911.X有效
发明人：长田圭司;西中山康彦;池田岳;高桥裕之 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-03-30 - 公布日： 2006-11-01 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明的基板定位装置防止将起因于例如饱和数据等异常数据的干扰部分误判定为在基板周缘形成的切口标记并提高切口标记的判定精度。通过光透过型传感器(250)检测载置于旋转载置台(210)的晶片(W)的周缘，作为基板周缘形状数据取得该检测值，从该基板周缘形状数据检测突发性异常数据，删除检测到的突发性异常数据，根据该周边数据获得的预测数据补间该部分的干扰降低处理；从干扰降低处理后的基板周缘形状数据检测切口标记候补，判定使切口标记候补相当部分的数据群曲线近似，获得的近似曲线和切口标记候补相当部分的数据群之间的误差是否满足规定判定条件的切口标记判定处理；和根据满足规定判定条件的切口标记定位基板的基板定位处理
定位装置方法程序

[发明专利]基板定位装置及基板定位方法-CN201780092666.6有效
发明人：山田义人 -专利权人：东芝三菱电机产业系统株式会社
申请日： 2017-06-30 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明的目的在于，提供能够以比较简单的结构实现基板的中心位置的定位的基板定位装置。在本发明中，基准定位机构(10)及推压用定位机构(20)相对于载置在载置台(2)上的基板(1)，沿着Y方向(位置调整方向)相互对置而夹着基板(1)配置。控制部(5)一边识别伸缩部(12)及(22)的第一及第二伸缩状态，一边使伸缩部(12)及(22)执行第一及第二伸缩动作，在Y方向上执行定位控制动作，使得基板中心线(CL1)与载置台中心线(CL2)一致。
定位装置方法

[发明专利]基板定位装置、基板处理装置和基板定位方法-CN201110125137.6有效
发明人：天野嘉文 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-05-12 - 公布日： 2011-11-16 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种能相对于旋转轴线准确定位圆形基板中心的基板定位装置、基板处理装置和基板定位方法。本发明提供如下基板定位装置以解决以上课题。该基板定位装置用于对基板进行定位，包括：基板装载部；具有与上述基板的侧面接触的第1基准部的第1定位机构部；具有与上述基板的侧面接触的第2基准部的第2定位机构部；用于驱动上述第1定位机构部的第1驱动部；用于控制上述第1定位机构部的驱动的控制部，上述第2基准部在接触部与上述基板接触，该第2基准部具有能够在上述第1驱动部的移动方向上对上述接触部施加力的弹性部、和用于检测上述第2定位机构部的位置信息的检测部。
定位装置处理方法

[发明专利]基板定位工装及基板的定位方法-CN201210261382.4无效
发明人：周国卷 -专利权人：西安永电电气有限责任公司
申请日： 2012-07-26 - 公布日： 2012-11-07 - 主分类号： B23K37/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板定位工装，用以对基板进行定位，所述基板包括绝缘层以及形成于所述绝缘层表面的金属层，所述基板定位工装包括主体部，所述主体部表面设有收容所述金属层的凹槽，所述凹槽的内壁抵持于所述金属层的四周本发明还公开了一种基板的定位方法。本发明通过铣削加工出凹槽的结构，使DBC等基板的金属层正好嵌入其中，通过这样的结构设计、控制公差，可将DBC等基板准确、高精度的定位在设计的焊接位置，保证不会出现偏移等问题。
定位工装方法

[发明专利]基板用定位工作台、基板用定位设备及基板的定位方法-CN200580009849.4无效
发明人：井口薰;内田卓朗;西之宫秀树 -专利权人：株式会社井口机工制作所
申请日： 2005-04-04 - 公布日： 2007-03-28 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种基板用定位工作台、基板用定位设备及基板的定位方法。该基板用定位工作台具有：载置基板的载置台；自由滚珠轴承，其设置在所述载置台外周部的多处位置，通过对从所述载置台的上方下降而载置于所述载置台上的基板的外周部进行引导，使所述基板定位在所述载置台上设定的基板定位区域内所述自由滚珠轴承由滚珠支承体和自由旋转地被该滚珠支承体支承的滚珠构成，而且，所述滚珠的中心配置在所述载置台支承所述基板的支承面的延长上，或者，设置在所述载置台上载置基板的板厚度尺寸的范围内比所述支承面更上方的位置
基板用定位工作台设备方法

[发明专利]基板定位装置、基板定位方法以及接合装置-CN202110152066.2在审
发明人：牧哲也;稻益寿史 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2021-08-13 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供使基板的定位精度提高的基板定位装置、基板定位方法以及接合装置。本公开的基板定位装置具备保持部和旋转机构。保持部保持基板。旋转机构使保持部旋转。
定位装置方法以及接合

[发明专利]基板定位方法-CN201310492220.6有效
发明人：马渡道明 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2013-10-18 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： H05K13/04 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种基板定位方法，其能够恰当地设定基板停止所需的减速距离而提高生产率。在将由搬送带（13）搬送的基板（4）定位于预定的目标停止位置（E）的基板定位时，若由规定基板减速时刻的第一基板检测传感器（17）检测出基板（4），则开始作为减速时刻参数的减速延迟脉冲的计数，在减速延迟脉冲的计数值达到与规定的时滞（ΔT）相当的规定计数值的时刻，使基于带驱动机构（14）的搬送速度（V）从第一搬送速度（V1）减速至第二搬送速度（V2），在这样的搬送控制中，基于是否存在基板（4）从目标停止位置（E）超过定位容许范围而停止的位置偏移的判断结果
基板减速基板定位延迟脉冲目标停止位置带驱动机构第一基板减速距离判断结果时刻参数位置偏移传感器检测时滞送带

[发明专利]基板定位装置-CN200510064924.9有效
发明人：金田充弘;冈部修三 -专利权人：三菱电机株式会社;美而高机电系统股份有限公司
申请日： 2005-04-04 - 公布日： 2006-05-17 - 主分类号： B23Q3/18 文献下载
摘要：一种可减轻在双头激光加工机中因2个加工头的光轴位置偏离或倾斜引起的加工质量问题的基板定位装置，其具备：放置基板的工作台(33)及对该工作台进行保持的工作台的保持台(34)；与基板的相垂直的2边碰接的、对基板进行定位的轴方向止动件(36)的相对工作台的保持台(34)的在Y轴方向的位置在所定的基准位置与偏置位置间进行切换的Y轴方向止动件位置切换装置(41)；使工作台(33)向与X轴方向及Y轴方向斜交的斜行方向水平移动、使基板与
定位装置

[发明专利]基板定位平台-CN200510113867.9有效
发明人：范咏达;张正龙;胡泉冬;纪慕雅 -专利权人：友达光电股份有限公司
申请日： 2005-10-21 - 公布日： 2006-03-29 - 主分类号： G02F1/1333 文献下载
摘要：一种基板定位平台，用以承载多个基板于多个基板固定区中。此基板定位平台至少包括：设置于每一个基板固定区中的多个真空孔、分别环绕此些真空孔的多个凹槽、及分别设置于凹槽中多个防滑组件，用以接触每一个基板的表面。此基板定位平台使用抽真空的方式来固定每一个基板，而每一个基板的一直角顶角实质对齐于每一个基板固定区的一直角角落。
定位平台

[发明专利]基板定位装置-CN201310080270.3无效
发明人：韩进隆;王渊民 -专利权人：威光自动化科技股份有限公司
申请日： 2013-03-13 - 公布日： 2014-09-03 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种基板定位装置，包括能够逐一传递基板水平移动的基准面，首先端边定位器止挡于基准面移动的基板，接着侧边定位器经由接触而后导正已止挡于基准面的基板，最后升降器通过由下往上的移动而抬举基板脱离基准面。通过机械组件来止档暨定位基板，以免除或省略感测元件的配置。
定位装置

[发明专利]基板定位装置-CN200810304588.4无效
发明人：黄俊凯;邱义君;姚明德 -专利权人：富士迈半导体精密工业（上海）有限公司;沛鑫半导体工业股份有限公司
申请日： 2008-09-19 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板定位装置。该基板定位装置包括一个第一驱动单元及多个第一抵柱。该基板定位装置结构简单，便于维修与调整。
定位装置

[发明专利]基板定位装置-CN201210427981.9无效
发明人：胜田信一 -专利权人：株式会社安川电机
申请日： 2012-10-31 - 公布日： 2013-07-31 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种基板定位装置，所述基板定位装置包括：支承单元，所述支承单元用于将基板支承就位；光发射单元和光接收单元，所述光发射单元和所述光接收单元分别布置在所述基板的主面两侧并彼此相对；发光控制单元，所述基板定位装置还包括调节单元，所述调节单元用于在所述基板没有被所述支承单元支承时依据所述光接收量来控制所述控制值。
定位装置

[发明专利]基板定位工装-CN201210383731.X无效
发明人：张红卫;王豹子 -专利权人：西安永电电气有限责任公司
申请日： 2012-10-11 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： B23K3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板定位工装，用以对基板进行定位，所述定位工装包括主体部，所述主体部上开设有镂空部，所述镂空部配合所述基板的外形设置，所述主体部上还设有至少一个抵持部，所述抵持部凸伸于所述镂空部内并与所述基板的侧壁之间实现线接触本发明的基板定位工装，消除焊接定位工装难以拆卸现象，避免模块损坏，提升产品成品率。
定位工装

[实用新型]基板定位结构-CN201420735068.X有效
发明人：坂田哲也 -专利权人：日本电产三协株式会社
申请日： 2014-11-28 - 公布日： 2015-04-08 - 主分类号： H05K7/14 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基板定位结构，该基板定位结构能够以比较简单的结构，将基板在其厚度方向上以及面内方向上可靠地定位于两个支承部件之间。在电动开闭装置中，装配基板被定位于由第一壳体部件构成的第一支承部件与由第二壳体部件构成的第二支承部件之间。在第二壳体部件中形成有将装配基板朝向第一壳体部件按压的基板按压部。基板按压部具有从第二壳体部件的板状部朝向装配基板突出的筒部和由在筒部的顶端部与装配基板抵接的突起构成的基板抵接部。在第一壳体部件中形成有从板状部朝向装配基板突出并嵌入到贯通孔中的定位突起，定位突起的顶端部嵌入到基板按压部的筒部的内侧。
定位结构

[实用新型]基板定位装置-CN201320114397.8有效
发明人：韩进隆;王渊民 -专利权人：威光自动化科技股份有限公司
申请日： 2013-03-13 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种基板定位装置，包括能够逐一传递基板水平移动的基准面，首先端边定位器止挡于基准面移动的基板，接着侧边定位器经由接触而后导正已止挡于基准面的基板，最后升降器通过由下往上的移动而抬举基板脱离基准面。通过机械组件来止档暨定位基板，以免除或省略感测元件的配置。
定位装置

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